IWAKI 易威奇氣動(dòng)波紋管泵（FA-40VEW）
- 產(chǎn)品名稱：IWAKI 易威奇氣動(dòng)波紋管泵（FA-40VEW）
- 產(chǎn)品型號(hào)：FA-40VEW型
- 產(chǎn)品廠商：IWAKI 易威奇
- 產(chǎn)品文檔：
IWAKI 易威奇氣動(dòng)波紋管泵（FA-40VEW）
的詳細(xì)介紹IWAKI 易威奇氣動(dòng)波紋管泵（FA-40VEW）
IWAKI 易威奇氣動(dòng)波紋管泵（FA-40VEW）
IWAKI 易威奇氣動(dòng)波紋管泵（FA-40VEW）
IWAKI 易威奇氣動(dòng)波紋管泵（FA-40VEW）
IWAKI 易威奇氣動(dòng)波紋管泵（FA-40VEW）
氣動(dòng)波紋管泵 FA系列 用于晶圓清潔，氣動(dòng)波紋管泵。 我們采用小流量模型和FA - 40VEW型垂直型大流量模型對(duì)FA - 2型水平流型進(jìn)行了標(biāo)準(zhǔn)化。 FA-2型適用于噴涂單晶圓加工，F(xiàn)A-40VEW型適用于清洗200/300 mm晶圓。
特點(diǎn)
1.我們采用小流量模型和FA - 40VEW型垂直型大流量模型對(duì)FA - 2型水平流型進(jìn)行了標(biāo)準(zhǔn)化。 FA-2型適用于噴涂單晶圓加工，F(xiàn)A-40VEW型適用于清洗200/300 mm晶圓。
2.FA - 40VEW型采用厚波紋管。 它是一種長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)，具有出色的耐壓性，可承受長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行。
3.氟樹脂用于所有潤(rùn)濕部件。 它是一種無污染的設(shè)計(jì)，不使用橡膠或金屬，例如在泵的外圓周上涂覆氟樹脂涂層。 此外，由于FF-H系列的主體和波紋管是完全焊接的，因此熱循環(huán)不會(huì)有液體泄漏。
4.通過連接到專用控制器，可以輕松控制和管理排放量。
型 號(hào)
FA-2E-1
FA-40VEW
*大排放量 L/min
2
40
供氣壓力范圍 MPa
0.2～0.4
0.1～0.4
液體溫度范圍 ℃
5～100
*大耗氣量 NL/min
50
200
泵沖程數(shù) spm
Max.150
Max.80
泵連接端口直徑
Rc1/8
Rc1
空氣連接口直徑
Rc1/4
Rc3/8
環(huán)境溫度℃
0～40
驅(qū)動(dòng)方式
接近開關(guān)方法