日本樫山kashiyama     真空泵    新型E系列  電/微   詳詢   趙13062644508

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無(wú)油干式運(yùn)行：采用無(wú)潤(rùn)滑油機(jī)械結(jié)構(gòu)，避免了油蒸氣對(duì)工藝環(huán)境的污染，特別適用于對(duì)潔凈度要求高的場(chǎng)合，如半導(dǎo)體制造、液晶顯示制造等。
抽氣能力強(qiáng)：*大抽速可達(dá) 20,000L/min，能快速有效地抽取氣體，可滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)真空度的需求。
極限真空度高：極限壓力可達(dá)到 0.1Pa 甚至更低，能夠提供高真空環(huán)境，滿足如半導(dǎo)體工藝中一些對(duì)真空度要求嚴(yán)苛的工藝步驟。
氮?dú)獯祾吖δ埽褐С值獨(dú)獯祾?，氮?dú)饬髁靠稍谝欢ǚ秶鷥?nèi)調(diào)節(jié)，通常能在 0 至 60SLM 范圍內(nèi)，增強(qiáng)了工藝的靈活性，可用于一些需要對(duì)腔體進(jìn)行吹掃或保護(hù)的工藝。
高效節(jié)能：通過(guò)優(yōu)化機(jī)械結(jié)構(gòu)和采用新型加熱器系統(tǒng)等措施，實(shí)現(xiàn)了低功耗化，功率一般為 1.05kW 左右，相比一些傳統(tǒng)真空泵能耗更低。
小型化設(shè)計(jì)：外形尺寸較為緊湊，例如 MUP1200E 的尺寸約為 820×380×655mm，機(jī)身小巧，節(jié)省安裝空間，便于集成到各種設(shè)備或系統(tǒng)中。
冷卻水需求低：冷卻水流量?jī)H需約 2L/min，對(duì)冷卻系統(tǒng)的要求不高，可降低運(yùn)行成本和設(shè)備復(fù)雜度。
**可靠：符合工業(yè)**標(biāo)準(zhǔn)，配備高**性防護(hù)設(shè)計(jì)，如過(guò)載保護(hù)、過(guò)熱保護(hù)等裝置，能在各種工況下穩(wěn)定運(yùn)行，減少故障和意外發(fā)生的可能性。
產(chǎn)品兼容性好：支持與同系列設(shè)備協(xié)同工作，可擴(kuò)展應(yīng)用場(chǎng)景，能與其他型號(hào)的樫山真空泵或相關(guān)設(shè)備搭配使用，以滿足不同規(guī)模和復(fù)雜程度的真空系統(tǒng)需求。