nikkato日陶 半導(dǎo)體制造的各種熱電偶
- 產(chǎn)品名稱：nikkato日陶 半導(dǎo)體制造的各種熱電偶
- 產(chǎn)品型號(hào)：
- 產(chǎn)品廠商：nikkato日陶
- 產(chǎn)品文檔：
nikkato日陶 半導(dǎo)體制造的各種熱電偶
的詳細(xì)介紹nikkato日陶 半導(dǎo)體制造的各種熱電偶
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? NIKKATO日陶 在半導(dǎo)體制造中使用的熱電偶主要包括以下幾種類型?：
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? SPRIKE T/C （控溫?zé)犭娕迹?/span>?：主要用于控制爐體溫度。SPRIKE T/C通常是單點(diǎn)型，每個(gè)點(diǎn)的位置需要與PROFILE T/C的溫度點(diǎn)相互平行對(duì)應(yīng)，以確保爐溫的穩(wěn)定和正確?
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? PROFILE T/C （校準(zhǔn)熱電偶）?：分為 LP PROFILE T/C 和 AP PROFILE T/C ，用于測(cè)量溫度而非控制溫度。PROFILE T/C用于測(cè)量爐子每一設(shè)定點(diǎn)的實(shí)際溫度，確保與設(shè)定值相同。其保護(hù)管有高純度透明石英管、SIC管（有Cu涂層及無(wú)涂層）和藍(lán)寶石管等，適用于高溫工藝?
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? FLAT ZONE T/C （校正熱電偶）?：當(dāng)產(chǎn)品厚度異常時(shí)使用，用于測(cè)量爐體溫度分布。FLAT ZONE T/C是單點(diǎn)式測(cè)量，從底部緩慢向出口端移動(dòng)并記錄溫度，分為自動(dòng)（約24小時(shí)）和手動(dòng)（約兩小時(shí)）?
這些熱電偶在半導(dǎo)體制造中起著至關(guān)重要的作用，確保溫度控制的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，從而影響產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
